第二百三十八章 舌战群儒
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老人开口道:“各位尊敬的科学家,上午好,大家时间都很宝贵,我也就长话短说,简单谈一谈本场会议的目的。”
“近年来,我们一直在往半导体产业链进行发展,到了今天也有了一定丰硕的成果,前段时间,在林晓先生的主导下,我们先后在多个技术上都实现了突破,特别是硅晶圆生产技术得到了重大突破,达到了世界一流的程度。”
说到这,他朝林晓点点头,随后继续道:“半导体技术的研究是重中之重,未来我们也需要在这个技术上实现更多的创新。”
“现在,大家可以谈谈自己的看法,谈谈你们各方技术有哪些新的突破,讨论一下我们接下来应该往哪个方向发展。”
随着老人的话说完,在场的人便开始议论起来。
半晌后,华芯国际的专家举起了手,说道:“近期以来,我们在芯片生产工艺上实现了一次关键性的突破,距离12nm制程又近了一步,这一方面我们需要更多的研发投入。”
“我认为,我们在生产工艺上还是要加大投入,毕竟造出我们自己的光刻机仍然还遥遥无期,还不如先想办法怎么将duv光刻机钻研到极限。”
这话一说出来,其他人就不愿意了。
比如电科集团、常春光机所、魔都微电子,这三家都是接到了研发光刻机任务的,华芯国际提倡要大力搞生产工艺,他们当然就不愿意了。
于是这三家公司立马就表示了反对。
“搞不出来就不搞?你也不看看咱们现在因为没有搞这些东西都损失多少了。”
“你说搞生产工艺,也没见你们搞定多少啊?人家台积电别说14nm了,12nm、10nm的工艺都有,不求你们跟上7nm,但好歹也不至于落后这么多代吧?”
……
双方说的话都很不客气,自然而然的,就直接开始吵了起来。
当然,毕竟是这种场合,他们吵起来也都是指责对方在技术发展上的问题。
不过他们吵的时候,又有人表示:“我觉得,我们是不是应该在材料上再下点功夫?”
在场的人还是有不少是生产材料的,听到有人提到这一点,顿时就纷纷附和起来。
“对,材料上应该也需要着重发展!”
会议室中再一次多出了一个声音。
这就是半导体产业链,每一环都紧密相连,每一环之间都有着较大的技术壁垒。
就在这些人争论的时候,忽然有人拍了拍手,众人看去,正是马局长。
对于这位科技局局长,在座的人们都还是有保持着尊敬的态度的,于是乎也都安静了下来,等待他说话。
马高亮则只是笑了笑,然后说道:“大家说的都很有道理,不过大家也知道,咱们想要跟上国外,各个环节也都还相差甚远,现在咱们也就只是在硅晶圆生产这上面来到了世界一流的地位。”
“所以我想,咱们要不要先听听林教授的看法?”
听到这,在场的专家们都安静了下来。
不管如何,光凭林晓最近的这个成就,也值得他们认真对待一下。
于是所有人都将目光看向了坐在前面的林晓。
而林晓对于突然轮到自己讲话感到有些意外,不过,他早就准备着要分享一下他的想法了,所以他丝毫不着急。
身体坐好,他先朝右手边的老人微微一笑,然后重新转头看向了在场的人们,随后道:“我的看法,就是两手都要抓,两手都要硬。”
“当然,这句话用到整个产业链中,就是整条产业链,都要抓牢。”
在场的人顿时都是一愣,
林晓的意思是?
他觉得所有的方向都要发展?
在场的人们都不由摇摇头,他们还以为林晓能说出什么让人眼前一亮的想法呢,结果现在这么说,在所有人看来明显就是那种谁都不想得罪,保持中庸的态度。
不过,林晓真的是这个打算吗?
说完这句话后,他站了起来。
“半导体行业是一个完整的产业链,产业链中的每一个部分都占据着十分重要的作用,而我们既然有我们特殊的体制,我们可以形成一盘棋来进行,那么,我觉得应该组成一个半导体产业联盟,集中调配各方资源,来更好地发展我们的整个产业。”
“而现在,我们的硅晶圆生产已经完成了突破,同时,因为编码器八分结构的出现,我们的精密加工技术也得到了一次突破,而剩下的,就是继续更加深入的去挖掘。”
“在这里,我首先对光刻机所要用到的光学镜片生产技术如何实现突破,进行一个简单的讲述。”
说到这,林晓朝罗刚宪微微一笑,罗刚宪却是一愣,林晓要说他们的光学镜片?
林晓说道:“如何让光学镜片更加精密,无非就是将镜片表面那些凸起的粒子给弄走。”
“我们能够利用激光干涉仪,找到这些凸起的粒子,接下来针对这些凸起粒子的凸起量,我们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子,然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来,我们的镜片就能变得无比地平整起来。”
听到林晓的想法,罗刚宪便忍不住说道:“这……这应该做不到吧?激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据,我们只能进行统计,但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊!而且,硅原子半径都经到100多皮米了,直径等于两百多皮米,而我们需要的是100皮米以下的级别,如果是离子轰击,直接把表面原子给轰击掉了,留下的可能就是一个一百多皮米的坑,这样还是达不到光刻机镜片的要求!”
林晓说的确实是一个很好的方法,但这是从理论上来说,他作为专业的,心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑,说道:“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊,罗院士。”
“我说的是‘敲平’!”
“我们只需要就算好轰击角,控制住水平和垂直上的分力,我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且,我们所谓的原子半径,其实只是原子轨道半径而已,在受力范围上,它们可不是一个球,用离子束去轰击,也只是他们之间的电磁力罢了。”
“以前的离子抛光技术,使用的是氩等离子体,在轰击的时候,我们考虑其电荷量,就能够实现了。”
听到这,罗刚宪顿时感到不可思议,这么说的话,似乎真的可行?
但是经过片刻的思考后,微微摇头道:“这做不到吧,这在数学上无法实现!你怎么计算出轰击角?”
林晓却是一笑:“只是一道数学问题而已,我最不怕的就是数学问题。”
“这……”
罗刚宪话语一滞。
只是一道数学问题?
而已?
他不知道怎么说了,但是看着林晓的样子,他却找不到继续质疑的理由。
似乎,真的可以这么做?
如果他们能够计算出离子束轰击角,似乎确实完全有可能将那些粒子给“敲”进去?
其实,这就类似于一种离子抛光技术,只不过相比较那些比较常见的离子抛光技术,他们的这个技术对精细度要求的高了一点点。
而解决这个问题,最重要的可不就是数学问题?
想到这,他看着已经走到了椭圆桌另外一边的林晓,站起来说道:“林教授,你说服了我,我们合作吧。”
林晓笑了笑,说道:“当然可以,只不过……”
他看了一眼在场的所有人,说道:“各位,我刚才说了,我们要成立一个联盟,所以,我想和你们所有人一起合作。”
“而你们在技术上遇到的问题,都可以来找我合作研究。”
听到这,在场的人顿时都瞪大了。
林晓这话,是打算把他们所有人背后所代表的机构企业拉到一起?
他甚至还说,技术上遇到了问题,都可以去找他合作?
虽然林晓解决了cmp材料技术,还有硅晶圆提纯技术,甚至还在编码器精度上实现了重大突破,完全可以称之为全能性人才。
但是他们在场的那么多行业,林晓如何做到全能?
有人立马表示了反对:“林教授,你的提议很不错,但是你知道极紫外光光源问题如何解决吗?这是我们想问你的第一个问题。”
林晓一笑:“极紫外光光源,用的无非就是准分子激光照射在锡靶材上,退激产生极紫外光,而我们要做的就是提高其功率。”
“这一点,我们只需要控制锡靶材和准分子激光的功率,实现锡靶材能够更大的接受准分子激光照射率,就能够实现更强的退激效应。”
“关于如何实现锡靶材更高地接受照射率,这一点需要数学计算和实验验证,数学方面的问题,对我来说同样不是问题,所以你们和我合作之后,我们同样也有机会实现突破。”
“另外,还有我们对euv光的采集效率,这一点,只要能够实现我刚才所说的对镜片的更精密加工,我们采集效率完全可以再次增大,进而提高功率。”
听到林晓的回答,那个反对的人又是哑口无言,因为他发现自己居然被林晓说动了。
如果真的能够和林晓合作的话,他们的问题是不是真的能够得到解决?
而这时候,又有人提问了:“林教授,光路系统呢?”
林晓再一次笑道:“光路系统,首先是我们的精密控制领域需要突破,而我相信,现在我们已经有这样的机会了。”
“接下来还是一个数学问题,相信我,只要涉及到了数学问题,都不是问题。”
在场的人都不知道说什么了。
数学问题?
他们的这些问题,除了材料问题、精密加工问题,剩下的可不就是数学问题吗?
许多人都不知道再去怎么问了。
当然,那些研究材料的人就有话说了:“我们光刻胶呢?”
林晓说道:“cmp抛光材料,我花了两个月的时间就给解决了,其他的材料虽然我不敢保证,但是说不定我运气好之下,就也解决了呢?”
“啊这……”
“林教授,还有我们……”
……
林晓一个个的进行着回答,同时也一个个地将他们说服。
就如同舌战群儒一般。
成立这样一个联盟的想法,他早就有了。
而如今,他在半导体上的成就,让他有了这样的荣誉去提起这件事情。
今天这场会议,正好给了他提出这个想法的机会。
就这样,在场的人在他的话语中,脸上都露出了意动的表情。
似乎都被他说服了。
见到这一幕,林晓宋目光认真地道:“我不是想要抢各位的东西,只是觉得我们有必要建立起这样的一个联盟,更好地调动我们资源。”
“朋友们,我们距离国外还有差距,合作是更加应该的。”
“在这里,我不希望和大家争论。”
“同时,也请大家相信我,我也有这个信心。”
会议室中安静了片刻。
光电所所长,罗刚宪院士说道:“我同意。”
有了人开头,原本还摇摆不定的其他人,也纷纷说道:“我们也同意。”
“同意。”
这件事情,对他们也没有利益上的影响,只是嫌麻烦,不认为加入之后对他们有什么意义。
但现在,林晓已然说服了他们。
而见到这些人居然真的都同意了,马高亮忍不住看向林晓,目光中多出了佩服。
能够说服这么多人的,恐怕也只有林晓有这个能力。
而那位一直没有说话的老人,看着林晓的目光中也多出了许多的欣赏。
而后,他说道:“很好,各位能够实现合作,我很高兴,那么,我就作为一个见证者,为你们的这个联盟起个名吧。”
听到老人的话,林晓笑道:“这当然最好了。”
老人笑道:“那就叫华芯盟好了,简单直接一点。”
“另外,林教授,在之后如果有什么需要,联系高亮就行,我让他全力配合你们。”
“好!”
林晓重重点头。
……
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“近年来,我们一直在往半导体产业链进行发展,到了今天也有了一定丰硕的成果,前段时间,在林晓先生的主导下,我们先后在多个技术上都实现了突破,特别是硅晶圆生产技术得到了重大突破,达到了世界一流的程度。”
说到这,他朝林晓点点头,随后继续道:“半导体技术的研究是重中之重,未来我们也需要在这个技术上实现更多的创新。”
“现在,大家可以谈谈自己的看法,谈谈你们各方技术有哪些新的突破,讨论一下我们接下来应该往哪个方向发展。”
随着老人的话说完,在场的人便开始议论起来。
半晌后,华芯国际的专家举起了手,说道:“近期以来,我们在芯片生产工艺上实现了一次关键性的突破,距离12nm制程又近了一步,这一方面我们需要更多的研发投入。”
“我认为,我们在生产工艺上还是要加大投入,毕竟造出我们自己的光刻机仍然还遥遥无期,还不如先想办法怎么将duv光刻机钻研到极限。”
这话一说出来,其他人就不愿意了。
比如电科集团、常春光机所、魔都微电子,这三家都是接到了研发光刻机任务的,华芯国际提倡要大力搞生产工艺,他们当然就不愿意了。
于是这三家公司立马就表示了反对。
“搞不出来就不搞?你也不看看咱们现在因为没有搞这些东西都损失多少了。”
“你说搞生产工艺,也没见你们搞定多少啊?人家台积电别说14nm了,12nm、10nm的工艺都有,不求你们跟上7nm,但好歹也不至于落后这么多代吧?”
……
双方说的话都很不客气,自然而然的,就直接开始吵了起来。
当然,毕竟是这种场合,他们吵起来也都是指责对方在技术发展上的问题。
不过他们吵的时候,又有人表示:“我觉得,我们是不是应该在材料上再下点功夫?”
在场的人还是有不少是生产材料的,听到有人提到这一点,顿时就纷纷附和起来。
“对,材料上应该也需要着重发展!”
会议室中再一次多出了一个声音。
这就是半导体产业链,每一环都紧密相连,每一环之间都有着较大的技术壁垒。
就在这些人争论的时候,忽然有人拍了拍手,众人看去,正是马局长。
对于这位科技局局长,在座的人们都还是有保持着尊敬的态度的,于是乎也都安静了下来,等待他说话。
马高亮则只是笑了笑,然后说道:“大家说的都很有道理,不过大家也知道,咱们想要跟上国外,各个环节也都还相差甚远,现在咱们也就只是在硅晶圆生产这上面来到了世界一流的地位。”
“所以我想,咱们要不要先听听林教授的看法?”
听到这,在场的专家们都安静了下来。
不管如何,光凭林晓最近的这个成就,也值得他们认真对待一下。
于是所有人都将目光看向了坐在前面的林晓。
而林晓对于突然轮到自己讲话感到有些意外,不过,他早就准备着要分享一下他的想法了,所以他丝毫不着急。
身体坐好,他先朝右手边的老人微微一笑,然后重新转头看向了在场的人们,随后道:“我的看法,就是两手都要抓,两手都要硬。”
“当然,这句话用到整个产业链中,就是整条产业链,都要抓牢。”
在场的人顿时都是一愣,
林晓的意思是?
他觉得所有的方向都要发展?
在场的人们都不由摇摇头,他们还以为林晓能说出什么让人眼前一亮的想法呢,结果现在这么说,在所有人看来明显就是那种谁都不想得罪,保持中庸的态度。
不过,林晓真的是这个打算吗?
说完这句话后,他站了起来。
“半导体行业是一个完整的产业链,产业链中的每一个部分都占据着十分重要的作用,而我们既然有我们特殊的体制,我们可以形成一盘棋来进行,那么,我觉得应该组成一个半导体产业联盟,集中调配各方资源,来更好地发展我们的整个产业。”
“而现在,我们的硅晶圆生产已经完成了突破,同时,因为编码器八分结构的出现,我们的精密加工技术也得到了一次突破,而剩下的,就是继续更加深入的去挖掘。”
“在这里,我首先对光刻机所要用到的光学镜片生产技术如何实现突破,进行一个简单的讲述。”
说到这,林晓朝罗刚宪微微一笑,罗刚宪却是一愣,林晓要说他们的光学镜片?
林晓说道:“如何让光学镜片更加精密,无非就是将镜片表面那些凸起的粒子给弄走。”
“我们能够利用激光干涉仪,找到这些凸起的粒子,接下来针对这些凸起粒子的凸起量,我们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子,然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来,我们的镜片就能变得无比地平整起来。”
听到林晓的想法,罗刚宪便忍不住说道:“这……这应该做不到吧?激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据,我们只能进行统计,但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊!而且,硅原子半径都经到100多皮米了,直径等于两百多皮米,而我们需要的是100皮米以下的级别,如果是离子轰击,直接把表面原子给轰击掉了,留下的可能就是一个一百多皮米的坑,这样还是达不到光刻机镜片的要求!”
林晓说的确实是一个很好的方法,但这是从理论上来说,他作为专业的,心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑,说道:“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊,罗院士。”
“我说的是‘敲平’!”
“我们只需要就算好轰击角,控制住水平和垂直上的分力,我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且,我们所谓的原子半径,其实只是原子轨道半径而已,在受力范围上,它们可不是一个球,用离子束去轰击,也只是他们之间的电磁力罢了。”
“以前的离子抛光技术,使用的是氩等离子体,在轰击的时候,我们考虑其电荷量,就能够实现了。”
听到这,罗刚宪顿时感到不可思议,这么说的话,似乎真的可行?
但是经过片刻的思考后,微微摇头道:“这做不到吧,这在数学上无法实现!你怎么计算出轰击角?”
林晓却是一笑:“只是一道数学问题而已,我最不怕的就是数学问题。”
“这……”
罗刚宪话语一滞。
只是一道数学问题?
而已?
他不知道怎么说了,但是看着林晓的样子,他却找不到继续质疑的理由。
似乎,真的可以这么做?
如果他们能够计算出离子束轰击角,似乎确实完全有可能将那些粒子给“敲”进去?
其实,这就类似于一种离子抛光技术,只不过相比较那些比较常见的离子抛光技术,他们的这个技术对精细度要求的高了一点点。
而解决这个问题,最重要的可不就是数学问题?
想到这,他看着已经走到了椭圆桌另外一边的林晓,站起来说道:“林教授,你说服了我,我们合作吧。”
林晓笑了笑,说道:“当然可以,只不过……”
他看了一眼在场的所有人,说道:“各位,我刚才说了,我们要成立一个联盟,所以,我想和你们所有人一起合作。”
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林晓一笑:“极紫外光光源,用的无非就是准分子激光照射在锡靶材上,退激产生极紫外光,而我们要做的就是提高其功率。”
“这一点,我们只需要控制锡靶材和准分子激光的功率,实现锡靶材能够更大的接受准分子激光照射率,就能够实现更强的退激效应。”
“关于如何实现锡靶材更高地接受照射率,这一点需要数学计算和实验验证,数学方面的问题,对我来说同样不是问题,所以你们和我合作之后,我们同样也有机会实现突破。”
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听到林晓的回答,那个反对的人又是哑口无言,因为他发现自己居然被林晓说动了。
如果真的能够和林晓合作的话,他们的问题是不是真的能够得到解决?
而这时候,又有人提问了:“林教授,光路系统呢?”
林晓再一次笑道:“光路系统,首先是我们的精密控制领域需要突破,而我相信,现在我们已经有这样的机会了。”
“接下来还是一个数学问题,相信我,只要涉及到了数学问题,都不是问题。”
在场的人都不知道说什么了。
数学问题?
他们的这些问题,除了材料问题、精密加工问题,剩下的可不就是数学问题吗?
许多人都不知道再去怎么问了。
当然,那些研究材料的人就有话说了:“我们光刻胶呢?”
林晓说道:“cmp抛光材料,我花了两个月的时间就给解决了,其他的材料虽然我不敢保证,但是说不定我运气好之下,就也解决了呢?”
“啊这……”
“林教授,还有我们……”
……
林晓一个个的进行着回答,同时也一个个地将他们说服。
就如同舌战群儒一般。
成立这样一个联盟的想法,他早就有了。
而如今,他在半导体上的成就,让他有了这样的荣誉去提起这件事情。
今天这场会议,正好给了他提出这个想法的机会。
就这样,在场的人在他的话语中,脸上都露出了意动的表情。
似乎都被他说服了。
见到这一幕,林晓宋目光认真地道:“我不是想要抢各位的东西,只是觉得我们有必要建立起这样的一个联盟,更好地调动我们资源。”
“朋友们,我们距离国外还有差距,合作是更加应该的。”
“在这里,我不希望和大家争论。”
“同时,也请大家相信我,我也有这个信心。”
会议室中安静了片刻。
光电所所长,罗刚宪院士说道:“我同意。”
有了人开头,原本还摇摆不定的其他人,也纷纷说道:“我们也同意。”
“同意。”
这件事情,对他们也没有利益上的影响,只是嫌麻烦,不认为加入之后对他们有什么意义。
但现在,林晓已然说服了他们。
而见到这些人居然真的都同意了,马高亮忍不住看向林晓,目光中多出了佩服。
能够说服这么多人的,恐怕也只有林晓有这个能力。
而那位一直没有说话的老人,看着林晓的目光中也多出了许多的欣赏。
而后,他说道:“很好,各位能够实现合作,我很高兴,那么,我就作为一个见证者,为你们的这个联盟起个名吧。”
听到老人的话,林晓笑道:“这当然最好了。”
老人笑道:“那就叫华芯盟好了,简单直接一点。”
“另外,林教授,在之后如果有什么需要,联系高亮就行,我让他全力配合你们。”
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